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DMP/CMP 您当前位置:首页 >> 产品展示
介绍参数
 

1. Independent 4 Drives

_ Provides much option for the best recipe

_ Easy to correct platen figure

2. Plate Cooling Structure(CMP)

_ Maintain Plate flatness management against heat during

mechanical polishing

3. Low vibration

_ Provides stable run for thin applications

4. Hydrostatic base facing unit(DMP)

_ Always guarantee the best flatness within 5um

_ Time saving : Self re-conditioning when necessary

5. Air Tube Type pressure control system

_ Provides the suitable pressure control for thin & fragile

applications

_ Excellent resolution of upper pressure Balanced pressure to

all batched wafers

6. German made transmission applied

_ Guaranteed machine durability

_ Low trouble & Less back-lash

 

 

特点

1. 独立四电机驱动

为最优方案提供更多选择

2. 研磨盘冷却系统

   该结构可以很大程度上降低机械抛光过程中温度升高对砂轮平面度造成的影响.

3.低振动

高刚性铸铁机身,减少加工震动

4. DMP

     平面度可达5um以内

     时间节约:尺寸自动补偿系统

5.压力控制系统

     加工超薄和易碎产品时可以提供更精确的压力控制

      出色的压力控制系统,可将加工压力均匀分配至砂轮盘所有晶片

6. 采用德制传输系统

     设备耐用度有保证

     低故障率 ,低轮齿间隙

 

 

型号

ADDMP

 

 

ADCMP

 

 

1005

1308

1605

1005

1308

1605

铜盘

尺寸

Ø700xØ232

Ø1190xØ650

Ø1140xØ410

Ø700 xØ232

Ø1210xØ630

Ø1160 xØ390

材料

Copper

Copper

Copper

Stainless steel

Stainless steel

Stainless steel

游星轮

尺寸

10B

13B

16B

10B

13B

16B

数量

5pcs

8pcs

5pcs

5pcs

8pcs

5pcs

Auto Facing Unit

1mm/min~420mm/min

1mm/min~420mm/min

1mm/min~420mm/min

N/A

N/A

N/A

外形尺寸(WxDxH)(mm)

1228 x 2482 x 2049

1740 x 2907 x 2400

1740 x 2907 x 2400

1228 x 2482 x 2049

1740 x 2520 x 2314

1740 x 2520 x 2314

重量

approx 4,500kg

approx 8,000kg

approx 8000kg

approx 4,000kg

approx 7,500kg

approx 7,500kg

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