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市场:185-1130-1133/150-1080-8982

技术:156-5274-5452

邮箱:kshs@vip.sina.com

网址:www.bjkshs.com

            www.bjkshs.cn

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介绍参数
 

Features

Model : Full Auto VRG-300A

Model :HRG-150

Specifications

1. Strong and Simple Structure

_ Cast iron main frame

_ Superior Design and Construction

_ Low Surface Damage and Wafer Warpage

2. Automatic thickness measuring system

3.Automatic Dressing System

4. Auto Loading/Unloading, Auto Handling System

5. Auto Cleaning & Dry System

6. Optimized Software

_ Saving max. 20 process for easy operation

_ Easy to control and maintenance

Applications

Silicon Wafer, SiC Wafer, Sapphire, Metals, Ceramics,

Carbons, Glasses, Plastics, Composites

 

特点

型号: 全自动VRG-300A

型号:HRG-150

1. 结构简单稳固

  铸铁机身

  结构设计精良

  减少晶片表面损伤及翘曲

2. 自动尺寸控制系统

3.自动修整系统

4. 全自动上下料系统

5. 自动清洗和干燥系统

6. 可编程操作系统

  可存储20套加工程序,简单操作

  易于操控

应用领域

硅片,碳化硅片,蓝宝石晶圆,金属,陶瓷,

碳,玻璃,塑料,复合材料

 

型号

HRG-150

VRG-250F

VRG-300F

VRG-500

最大工件尺寸

1.5kW 3,000rpm

3.75kW 2,000rpm

5.0kW 2,000rpm

7.5kW 2,000rpm

工作轴

0.2kW 400rpm

0.75kW 200rpm

1.5kW 200rpm

2.2kW 200rpm

工件尺寸

mm

Ø150

Ø250

Ø300

Ø500

mm

70

100

100

200

砂轮进给

mm/min

0.0001~1

0.0001~1

0.0001~1

0.0001~1

分辨率

mm

0.0001

0.0001

0.0001

0.0001

定位精度

mm

±0.001

±0.002

重复定位精度

mm

±0.001

±0.001

±0.001

±0.001

Automatic THK Measuring

 

N/A

Option

Option

Option

自动修整

 

Option

Option

Option

Option

尺寸(WxDxH)

mm

1400x780x1520

1100x950x1970

1200x1050x1970

1300x1400x2100

重量

Kg

1400

1450

1750

2000

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